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立方氮化硼這么多應(yīng)用方向,你最看好誰?
日期:2022-12-20    瀏覽次數(shù):次
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立方氮化硼(Cubic Boron Nitride,簡稱cBN)是一種單晶硬度接近于金剛石單晶的超硬材料,具有良好的熱穩(wěn)定和抗氧化性能,在不超過1450℃的條件下可正常使用。cBN產(chǎn)品主要分單晶和多晶燒結(jié)體兩種,晶型有截錐四面體、八面體、斜晶和孿晶等。目前商業(yè)生產(chǎn)的cBN多呈黑色、琥珀色、鍍金,顆粒一般小于1毫米。

cBN的晶體結(jié)構(gòu)圖及產(chǎn)品圖

CBN的晶體結(jié)構(gòu)圖及產(chǎn)品圖(來源:左samaterials,右hyperion)

資料顯示,目前cBN單晶制備最常用的方式是在觸媒作用下用六方氮化硼作原料經(jīng)高溫高壓(3000~8000Mpa,800~1900℃)制備而成,典型的觸媒材料有堿金屬、堿土金屬、錫、鉛、銻和它們的氮化物等,其他的制備工藝可看下表。

CBN的制備方法簡介

制備方法

制備原理

特點(diǎn)

靜態(tài)高壓觸媒法

以液壓裝置產(chǎn)生高壓、以交流或直流電通過裝試料的石墨發(fā)熱體間接加熱產(chǎn)生高溫,在觸媒材料的參與下合成cBN晶體的方法。

有效地降低 hBN-cBN相轉(zhuǎn)變壓力,已成為工業(yè)生產(chǎn)cBN的最主要的方法。但存在合成時(shí)間長、合成效率低、合成成本高等缺點(diǎn)。

晶種溫度梯度法

是一種通過將小顆粒cBN單晶加入觸媒溶劑中作為晶種,添加hBN原料,溶解的B-N在合成腔溫度梯度的作用下到達(dá)低溫去的小顆粒cBN單晶,從而在小顆粒單晶表面沉淀呈現(xiàn)生長的方法。

能夠生產(chǎn)出毫米量級的大顆粒cBN單晶,且晶體雜質(zhì)少、高質(zhì)量,但是合成所需時(shí)間較長,合成成本較高。

靜態(tài)高溫高壓直接轉(zhuǎn)變法

在高溫高壓條件下實(shí)現(xiàn) hBN 直接轉(zhuǎn)變?yōu)閏BN單晶的方法,轉(zhuǎn)變過程中沒有觸媒的參與。

設(shè)備成本高、實(shí)驗(yàn)組裝復(fù)雜、合成時(shí)間長,并不適用于實(shí)際工業(yè)生產(chǎn)中。

爆炸法

主要為利用烈性炸藥爆炸時(shí)產(chǎn)生的高溫和高壓(>10 GPa,2000 K)直接作用于 hBN,從而實(shí)現(xiàn) hBN 向 cBN的直接轉(zhuǎn)變。

所需設(shè)備簡單、合成成本低及生產(chǎn)效率高,但是存在較大的安全隱患,且得到的晶體后期提純較為困難,不適合大尺寸的制備。

氣相沉積法

在高溫和低壓的條件下,在襯底上沉積由氮和硼原子形成的亞穩(wěn)態(tài)氣體,從而得到cBN薄膜的一種方法。

不需要使用復(fù)雜的高壓設(shè)備,生產(chǎn)成本較低,廣泛應(yīng)用于制備cBN薄膜。

水熱法

在一定的溫度和壓力環(huán)境下,通過水溶液中的物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而得到cBN微晶和納米晶的一種方法。

便于操作,實(shí)驗(yàn)成本低,適合制備結(jié)晶度較高、密度較低的cBN微晶和納米晶。

作為一種不可多得的極限功能材料,cBN的應(yīng)用前景良好。不過目前國內(nèi)高硬度材料的研發(fā)多集中在金剛石材料及其制品方面,盡管cBN潛力十足卻名聲不顯。到底它都可以做些什么呢?下面一起來看看。

CBN的性質(zhì)及應(yīng)用

CBN材料的性能優(yōu)勢比較突出的有三方面,分別是機(jī)械、光學(xué)以及電學(xué),下面將介紹cBN在相關(guān)領(lǐng)域的性質(zhì)與應(yīng)用狀況。

1、機(jī)械性能

前面已經(jīng)介紹過了,cBN單晶的硬度為50 GPa,僅次于金剛石(60~120 GPa),彈性模量值為909 GPa。因此目前cBN單晶最廣泛的應(yīng)用就是利用它的超高硬度來制造加工其它較硬材料的工具。在高速、高效、高精密加工條件下,立方氮化硼材料都可滿足應(yīng)用要求。

基于cBN的磨具中,樹脂結(jié)合劑磨具在工業(yè)生產(chǎn)中的應(yīng)用最為廣泛。但是,由于工業(yè)合成的cBN與樹脂的粘附性較差,使用時(shí)容易從結(jié)合劑中脫離,對工件造成劃痕,影響使用,因此還需要在cBN表面修飾金屬——其中,最有益的修飾方法是表面鍍覆,通過在表面包覆一層特定厚度的金屬層,就能提高cBN與結(jié)合劑的結(jié)合能力,增強(qiáng)磨料把持力,掩蓋磨料自身缺陷,大幅度延長磨粒的使用壽命和cBN工具的應(yīng)用性能。

PCBN 毛坯及刀具

 PCBN 毛坯及刀具(來源:hyperion)

除此之外,c-BN具有極好的熱穩(wěn)定性,在大氣中直到1300℃才發(fā)生氧化,在真空中對c-BN加熱,當(dāng)溫度高達(dá)1 550℃左右才會由c-BN轉(zhuǎn)變?yōu)閔BN,而且,cBN不易與過渡金屬發(fā)生化學(xué)反應(yīng),在真空或氬氣氣氛中與鐵鈷鎳的反應(yīng)溫度高達(dá)1350℃,與鐵鎳合金的反應(yīng)溫度高達(dá)1250℃。同時(shí),較高的熱導(dǎo)率使刀具在加工過程中產(chǎn)生的熱可以很快傳遞出去,能夠有效保護(hù)被加工工件表面不被燒傷,提高了道具的使用壽命。

不過要注意,由于cBN單晶存在晶粒尺寸小、各向異性、解理面易裂等缺陷,因此實(shí)際應(yīng)用中多使用由許多細(xì)晶粒(0.1~100微米)cBN聚結(jié)而成的立方氮化硼多晶(PCBN)刀具。PCBN除了具有cBN的大部分特性,還克服了cBN單晶表面定向解理的缺點(diǎn),因此在機(jī)械加工的各個(gè)方面都表現(xiàn)出優(yōu)異的切削性能。

擴(kuò)展閱讀:比人造金剛石還硬的立方氮化硼

2013年,燕山大學(xué)亞穩(wěn)材料國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室田永君課題組以洋蔥狀碳為前驅(qū)體,成功制得納米粒度僅為3.8 nm的超硬納米孿晶的立方氮化硼,該成果已于當(dāng)年在nature上發(fā)表。經(jīng)實(shí)驗(yàn)證明,這種納米孿晶的立方氮化硼在合理的加載力下,硬度均大于100 GPa,超過了人造金剛石單晶,它的成功合成開辟了一個(gè)同時(shí)提高材料硬度、韌性和熱穩(wěn)定性的新途徑。

立方氮化硼這么多應(yīng)用方向,你最看好誰?

直徑2毫米的納米孿晶立方氮化硼材料

2、光學(xué)性能

早期由于受尺寸限制,cBN的光學(xué)性質(zhì)未得到充分研究,隨著cBN尺寸的逐漸增大及薄膜材料的出現(xiàn),有研究者對本征cBN的光學(xué)帶隙進(jìn)行了探索,其光學(xué)帶隙大小的準(zhǔn)確測定對開發(fā)cBN成為紫外光電子材料至關(guān)重要。

Chen等通過紫外可見吸收光譜研究得到,隨著立方相含量的增加,吸收能量更高,光學(xué)帶隙增大,立方相含量高于88%的cBN薄膜光學(xué)帶隙超過6.0 eV。此外,C-BN在整個(gè)可見光譜范圍以及紅外與紫外光譜的很大范圍內(nèi)都透明,因而可以作為涂層應(yīng)用在精密的光學(xué)儀器窗口作為保護(hù)層。

此外,研究發(fā)現(xiàn)cBN單晶還具有電致發(fā)光和光致發(fā)光特性,是優(yōu)異的發(fā)光材料,其本征材料光致發(fā)光主要在紫外波段,其電致發(fā)光現(xiàn)象主要集中在紫外光和藍(lán)紫光范圍內(nèi)。因而可以據(jù)此研發(fā)出高性能二極管發(fā)光器件、激發(fā)器,而滿足特定領(lǐng)域的發(fā)光材料應(yīng)用要求。劉海波利用帶隙發(fā)光理論進(jìn)行研究,建立起這種材料的光致發(fā)光理論模型。

3、電學(xué)性能

CBN作為超寬禁帶半導(dǎo)體材料,帶隙高達(dá)6.4 eV,所以本征的cBN是絕緣的,電阻率大約在1010Ω·cm。研究表明本征或非故意摻雜的cBN表現(xiàn)出p型或n型導(dǎo)電,可能與各種缺陷、紊亂以及生長過程中的非故意摻雜有關(guān)。

CBN單晶電學(xué)性能優(yōu)異,具有目前己知的最大禁帶寬度,因此在制備高可靠性半導(dǎo)體材料方面具有明顯優(yōu)勢,在實(shí)際的加工過程中摻雜Be可制成p型半導(dǎo)體或添加S、C、Si等得到n型半導(dǎo)體而滿足相關(guān)應(yīng)用要求。在此基礎(chǔ)上制備出的電路性能顯著提高,且可長時(shí)間可靠的使用。如Mishima等人就在高溫高壓下用cBN制成p-n結(jié),該p-n結(jié)可以在650℃的高溫條件下工作,為c-BN在高溫電子器件和高溫短波長光電子器件方面的廣泛應(yīng)用奠定了基礎(chǔ)。

研究人員Siddha Pimputkar就曾說過,“cBN有潛力在更極端的條件下工作,并且可以耐受更高的電壓和電流。電壓越高,輸出相同功率所需的電流就越小。就像輸電線路一樣,我們希望在盡可能高的電壓下運(yùn)行,以減少通過系統(tǒng)的電流量,從而減少由于系統(tǒng)效率低下而產(chǎn)生的能耗。這反過來又允許人們消除或重新設(shè)想電路的整個(gè)組成部分,從而減少這些電力轉(zhuǎn)換器的尺寸,從而降低其成本?!?/span>

大尺寸立方氮化硼單晶

大尺寸立方氮化硼單晶的制備是一項(xiàng)挑戰(zhàn)

但是cBN在該領(lǐng)域也面臨困境,因?yàn)樗拇蟪叽鐔尉е苽潆y度很高。大尺寸意味著芯片成本的下降,但cBN單晶的生長時(shí)間極其緩慢,比如典型塊狀氮化物晶體的生長速率為每天0.1-1毫米,這就是當(dāng)前的工業(yè)化的困境。

4、熱學(xué)性能

CBN單晶導(dǎo)熱率很高,散熱性能良好,可很好的滿足與散熱相關(guān)的應(yīng)用需求。由于粗顆粒CBN單晶制備困難,散熱片多使用多晶CBN,但多晶CBN受純度和晶界的影響,導(dǎo)熱率相對要低,這對其應(yīng)用性能也產(chǎn)生很明顯的制約,因而很有必要合成出優(yōu)質(zhì)的粗顆粒CBN單晶用于散熱片的制作,這也是其未來的主要的應(yīng)用方向之一。

CBN的發(fā)展方向

雖然CBN單晶的應(yīng)用范圍正持續(xù)擴(kuò)大,但在實(shí)際的應(yīng)用過程中仍主要是基于其硬度高的特點(diǎn)而作為車刀和磨具使用。不過要想擴(kuò)寬應(yīng)用領(lǐng)域(如發(fā)光器件、半導(dǎo)體、散熱片等)也不容易,都需要用到優(yōu)質(zhì)的尺寸較大的CBN單晶,而目前優(yōu)質(zhì)粗顆粒CBN單晶由于生產(chǎn)工藝研究的不透徹及合成機(jī)理的不明確,制備仍然困難且產(chǎn)能較低,嚴(yán)重制約了CBN在上述領(lǐng)域的應(yīng)用。

CBN單晶

因此要充分利用CBN其它的功能特點(diǎn),不斷開拓其非磨削用途,擴(kuò)大其應(yīng)用范圍,合成出大尺寸、高質(zhì)量的cBN單晶就是未來的研究重點(diǎn)。

 

資料來源:

劉彩云,高偉,殷紅. 立方氮化硼的研究進(jìn)展[J]. 人工晶體學(xué)報(bào),2022,51(5):781-800. DOI:10.3969/j.issn.1000-985X.2022.05.004.

蔡立超. 優(yōu)質(zhì)粗顆粒立方氮化硼單晶的合成工藝與機(jī)理研究[D]. 山東:山東大學(xué),2021.

 

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