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鄒小姐：13326633089 -
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德中（天津）精密裝備有限公司，是一家以半導(dǎo)體、陶瓷薄膜電路加工技術(shù)、設(shè)備為核心，開發(fā)、生產(chǎn)以晶圓、陶瓷、鐵氧體等為基材的清洗、電鍍、化學(xué)鍍、化學(xué)蝕刻等濕法加工設(shè)備，如：晶圓凸點(diǎn)化學(xué)鍍Ni/Pd/Au(UBM)設(shè)備、超聲波清洗設(shè)備、電鍍?cè)O(shè)備、光刻膠顯影、除膠設(shè)備等。硬件技術(shù)、軟件技術(shù)、應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)，是德中的技術(shù)基礎(chǔ)，將三者有機(jī)結(jié)合，綜合運(yùn)用，使德中精密裝備走上了守中報(bào)一的發(fā)展之路。德中精密裝備的設(shè)備，擁有“竅門軟件化，工藝經(jīng)驗(yàn)產(chǎn)品化”的特色，憑借工藝經(jīng)驗(yàn)、質(zhì)量、環(huán)境、柔性、多功能五個(gè)方面的優(yōu)勢(shì)，不斷地滿足高端制造業(yè)和前沿研發(fā)活動(dòng)對(duì)材料精密加工、微細(xì)加工日益增長(zhǎng)的需求。
展出精品推薦1:德中CS系列 超聲/兆聲清洗設(shè)備
1.產(chǎn)品要點(diǎn)：
28KHz-1MHz頻率可選，擁有掃頻、多頻分時(shí)段清洗、多頻率同時(shí)清洗等先進(jìn)清洗技術(shù)，基板清洗更徹底；
2.性能特點(diǎn)：
陶瓷、鐵氧體、玻璃、藍(lán)寶石、硅片是常見的電子器件基板材料，德中CS系列的超聲波/兆聲波清洗設(shè)備可在PVD、PCVD前，對(duì)這些基板進(jìn)行清潔處理，確保基板表面潔凈無污染，確保金屬鍍層與基體的結(jié)合力。超聲、兆聲、PVDF槽、水晶槽、不銹鋼槽、QDR水洗、溢流水洗、脫水等可根據(jù)客戶要求定制。
德中超聲清洗設(shè)備可集成如下清洗工藝：
— 強(qiáng)酸浸泡清洗；
— 有機(jī)溶劑超聲清洗，如丙酮、酒精等；
— 超聲酸洗功能；
— 超聲堿洗功能；
— 水洗：如QDR快排水洗，溢流水洗等；
— 清洗液在線加熱、N2在線加熱等；
— 有機(jī)溶劑揮發(fā)檢測(cè)、防火/滅火裝置；
— 清洗槽與線外桶直接循環(huán)，新舊藥液自動(dòng)更替，24H生產(chǎn)。
德中超聲清洗設(shè)備其他功能：
— 清洗液自動(dòng)配置、排放、補(bǔ)加、更換功能;
— 溶液溫度、處理時(shí)間程序化控制；
槽體材質(zhì)：PVDF\PTFE\PPH\不銹鋼304-316等
展出精品推薦2：德中TP系列 電鍍/電鍍填孔設(shè)備
1.產(chǎn)品要點(diǎn)：
采用獨(dú)特的射流技術(shù)，鍍層均勻性好，效率高，適合銅、鎳、金、銀、錫等多種金屬電鍍，同時(shí)適合晶圓凸點(diǎn)、陶瓷填孔電鍍；
2.產(chǎn)品介紹：
德中TP350/450/650系列電鍍?cè)O(shè)備，采用獨(dú)特的夾具設(shè)計(jì)，適合陶瓷、鐵氧體、玻璃等電子基板在PVD/PCVD后進(jìn)行表面電鍍金屬加厚，液適合晶圓凸點(diǎn)電鍍。可電鍍銅、鎳、金、錫、銀等各種金屬；對(duì)于不同的金屬鍍層，厚度從0.5μm到300μm均可實(shí)現(xiàn)；軟件提示半自動(dòng)操作、行車全自動(dòng)運(yùn)行等操作模式，均可根據(jù)客戶需求定制；直流電鍍、直流脈沖電鍍、反向脈沖電鍍可選。
該設(shè)備采用獨(dú)特的射流技術(shù)進(jìn)行電鍍，工件作為陰極，浸泡在電鍍液中的同時(shí)，電鍍?nèi)芤簭淖?、右兩?cè)強(qiáng)力噴射向陰極，該設(shè)備也適合在陶瓷、硅片等基板上進(jìn)行填孔電鍍。射流電鍍技術(shù)的優(yōu)勢(shì)：
n 陰極、陽極間離子交換速度更快，整槽內(nèi)離子濃度更加均勻，完全消除濃差極化；
n 電流密度更高，電鍍效率可提高30-40%；
n 孔內(nèi)溶液交換快，適合小孔、微孔、盲孔等板厚/孔徑比大的基板電鍍，表面和孔內(nèi)鍍層厚度更趨一致；
n 基板前后擺動(dòng)，配合獨(dú)特的噴射結(jié)構(gòu)，整個(gè)基板表面、所有基板孔的噴射效果均勻、一致；
n 電鍍厚度均勻性＜ 10%；
n 可兩面施加相同或不同的電鍍電流，兩面鍍層厚度一致或不同；
n 電鍍液噴射流量可調(diào)，噴射系統(tǒng)距離陰極距離可調(diào)，適合陶瓷、HDI板等基板的填孔電鍍。
展出精品推薦3：德中EU系列 化學(xué)蝕刻設(shè)備
1.產(chǎn)品要點(diǎn)：
垂直噴淋技術(shù)、浸泡+溢流+拋動(dòng)技術(shù)。多種蝕刻方式，適合不同厚度金屬膜層。完全避免“水池效應(yīng)”，精度高，側(cè)蝕小，一致性好；
2.產(chǎn)品介紹：
一.噴淋蝕刻設(shè)備：EU450V
EU450V是一款垂直、噴淋、往復(fù)傳動(dòng)蝕刻設(shè)備，基板專用夾具帶動(dòng)陶瓷，垂直進(jìn)入蝕刻區(qū)，被霧化的蝕刻液從前、后兩側(cè)同時(shí)噴淋腐蝕，再經(jīng)過水洗、風(fēng)干，完成蝕刻；
n 兩面同時(shí)蝕刻，兩面效果均勻一致；
n 非接觸、無阻擋式化學(xué)蝕刻設(shè)備，整個(gè)蝕刻過程傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與陶瓷無物理接觸，對(duì)光刻膠、精細(xì)線路無損傷；
n 強(qiáng)力噴淋有利打破精細(xì)線路的“微觀水池效應(yīng)”，更加適合精細(xì)線路蝕刻；
n 蝕刻液與基板接觸發(fā)生蝕刻反應(yīng)后，由于自身重力自動(dòng)脫離基板表面，完全避免了水平上蝕刻中的“水池效應(yīng)”，整板蝕刻效果一致，精度高，側(cè)蝕?。?/span>
蝕刻方式分兩種：
—直接蝕刻：基板進(jìn)入蝕刻區(qū)前，蝕刻液噴淋，基板直接穿過蝕刻區(qū)；
—往復(fù)蝕刻：基板進(jìn)入蝕刻區(qū)前蝕刻液不噴淋，當(dāng)基板進(jìn)入并停止在蝕刻倉中間，基板開始在蝕刻倉內(nèi)左右擺動(dòng)，同時(shí)蝕刻液開始噴淋。蝕刻時(shí)間可以很短，也可以很長(zhǎng)，非常適合超厚金屬蝕刻；
n 既能針對(duì)超薄金屬的蝕刻，又能蝕刻超厚金屬，小身材，大用處；
n 配置適合陶瓷、FPC、微波電路板的專業(yè)夾具，適合多種應(yīng)用；
占地小，投資回報(bào)率高。
展出精品推薦４：德中DU系列 光刻膠顯影設(shè)備
1.產(chǎn)品要點(diǎn)：
浸泡+溢流+拋動(dòng)、浸泡+旋轉(zhuǎn)技術(shù)可選。多種方式，適合多種光刻膠顯影；
2.產(chǎn)品介紹：
浸泡+拋動(dòng)+溢流 顯影設(shè)備：DU350/450/650
基板放置在顯影盒中（與蝕刻盒通用），采用浸泡+溶液自下而上溢流+基板拋動(dòng)方式進(jìn)行蝕刻，適合多種光刻膠顯影，如TMAOH、NaOH等。
陶瓷、玻璃、晶圓等基板被固定在裝載夾具上，基板可以是圓形，也可以是方形，2英寸-8英寸均適用。裝載夾具浸泡在蝕刻溶液中，顯影液自上而下涌動(dòng)、溢流，基板拋動(dòng)。其特點(diǎn)是：
n 顯影液在基板表面充分交換，保證新鮮的蝕刻液與金屬膜層發(fā)生蝕刻反應(yīng)，每片基片、基片上每點(diǎn)蝕刻速度一致；
n 基片裝載夾具、槽體，均可采用316L/PTFE材質(zhì)；
n 一臺(tái)設(shè)備中可配置多個(gè)顯影槽，配合水洗槽，可大大提高生產(chǎn)效率；
n 顯影槽設(shè)計(jì)有自動(dòng)槽蓋（選項(xiàng)），減少藥液揮發(fā)；
n 顯影槽底部設(shè)計(jì)有均流板，通過均流板顯影液上涌，顯影槽采周溢流方式，通過管路與線外桶連接；
n 不工作時(shí)顯影液可存儲(chǔ)在線外桶內(nèi)，防止顯影液遭受污染；
n 顯影液的更換更加簡(jiǎn)單，直接更換線外桶即可；
n 可在不停產(chǎn)狀態(tài)下更換顯影液，實(shí)現(xiàn)7×24H連續(xù)生產(chǎn)；
n 藥液涌動(dòng)的流速、壓力可調(diào)，確保均勻一致的顯影效果；
n 拋動(dòng)行程可調(diào)，確保均勻一致的顯影效果；
n 設(shè)備槽體、管路、閥門全部采用適合高純液體的材質(zhì)和部件，確保不會(huì)污染工件；
n 可生成生產(chǎn)日志，所有工件的工藝參數(shù)均可記憶、導(dǎo)出、備查，也可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控功能；
n 全自動(dòng)設(shè)備、軟件提示手動(dòng)操作均可，適合不同的客戶需求。
展出精品推薦5：德中SU系列 光刻膠除膠設(shè)備
1.產(chǎn)品要點(diǎn)：
浸泡+溢流+拋動(dòng)、浸泡+旋轉(zhuǎn)技術(shù)可選。多種方式，適合多種光刻膠除膠；
2.產(chǎn)品介紹：
浸泡+拋動(dòng)+溢流 除膠設(shè)備：SU350/450/650
基板放置在清洗盒中（與蝕刻盒通用），采用浸泡+溶液自下而上溢流+基板拋動(dòng)方式進(jìn)行除膠，適合多種除膠液，如丙酮、NaOH等。如用丙酮除膠，一般采用二步除膠法，以便能徹底干凈地將感光膠去除，工藝流程如下：
陶瓷、玻璃、晶圓等基板被固定在裝載夾具上，基板可以是圓形，也可以是方形，2英寸-8英寸均適用。裝載夾具浸泡在除膠溶液中，除膠液自上而下涌動(dòng)、溢流，基板拋動(dòng)。其特點(diǎn)是：
n 除膠液在基板表面充分交換，保證新鮮的除膠液與基板接觸；
n 基片裝載夾具、槽體，均可采用316L不銹鋼加電解拋光處理；
n 一臺(tái)設(shè)備中可配置2個(gè)除膠槽，配合水洗槽，可大大提高生產(chǎn)效率；
n 除膠槽設(shè)計(jì)有自動(dòng)槽蓋（選項(xiàng)），減少藥液揮發(fā)；
n 除膠槽底部設(shè)計(jì)有均流板，通過均流板除膠液上涌，除膠槽采周溢流方式，通過管路與線外桶連接；
n 不工作時(shí)除膠液可存儲(chǔ)在線外桶內(nèi)，防止除膠液遭受污染，也防止除膠液的揮發(fā)；
n 除膠液的更換更加簡(jiǎn)單，直接更換線外桶即可；
n 可在不停產(chǎn)狀態(tài)下更換除膠液，實(shí)現(xiàn)7×24H連續(xù)生產(chǎn)；
n 藥液涌動(dòng)的流速、壓力可調(diào)，確保均勻一致的除膠效果；
n 拋動(dòng)行程可調(diào)，確保均勻一致的除膠效果；
n 設(shè)備內(nèi)部安裝有機(jī)物揮發(fā)濃度傳感器，濃度超標(biāo)會(huì)自動(dòng)啟動(dòng)排風(fēng)；
n 設(shè)備內(nèi)部安裝火焰探測(cè)和滅火裝置，發(fā)生火災(zāi)自動(dòng)滅火；
n 可生成生產(chǎn)日志，所有工件的工藝參數(shù)均可記憶、導(dǎo)出、備查，也可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控功能；
n 全自動(dòng)設(shè)備、軟件提示手動(dòng)操作均可，適合不同的客戶需求。
歡迎各位屆時(shí)蒞臨CAC 2023廣州先進(jìn)陶瓷產(chǎn)業(yè)鏈展覽會(huì)，德中（天津）精密裝備有限公司——展位號(hào)：B625，現(xiàn)場(chǎng)了解更多相關(guān)信息。
